一、背景介绍
随着美国对中国芯片行业的商业制裁,中国政府大力推动本土半导体制造行业的发展,中国的半导体制造行业存在着不断增长的利润空间。为了提高国内半导体制造产线数据收集,分析,管理和智能排产等能力,半导体制造规范化并与国际标准接轨成为必需。SEMI(国际半导体产业协会)为半导体制造设备提供了完整的SECS/GEM协议标准。该协议因具有降低设备集成成本,适用于所有制造设备,可以支持无数的应用程序,而获得业界的大力支持。很多大企业如三星,英特尔,东芝等90年代开始就使用SECS/GEM为基础的全自动化产品。中国企业的SECS/GEM产品需求也在国产化的大环境下在逐年上升。
SECS/GEM是由国际半导体设备与材料协会(SEMI)制定的连接性标准, 也是被众多类型半导体设备最广泛采用的标准,它定义了消息,状态机和应用场景,使得工厂软件能够控制和监督生产设备。
二、产品介绍-产品概览
应用方向:
(1)半导体设备快速开发SECS协议接口
(2)产线半导体设备数据采集
(3)产线半导体设备采集并通过SECS协议接口转发数据
1、产品介绍-KingExGem 驱动
KingExGem主要特征:
l 基于WINDOWS VC++ 动态库
l 支持E5(SECS-II), E30(GEM)和E37(HSMS)
l 支持GEM 场景自动管理
l 支持SECS 消息自动交互
l 支持多线程异步调用API
l 支持多远程端口通讯
2、产品介绍-KingSecsGemTransmitter 转发工具
KingSecsGemTransmitter主要特征:
l 基于KingExGem驱动
l 支持E5(SECS-II), E30(GEM)和E37(HSMS)
l 支持OPC DA 2.0 对接数据源
l 支持多连接和多远程端口
l 灵活的设备功能定制模块,如E84定制
3、产品介绍-KingIOServerSecsGem 采集驱动
KingIOServerSecsGem主要特征:
l 基于KingExGem驱动
l 支持E5(SECS-II), E30(GEM)和E37(HSMS)
l 支持点表自动创建
l 便捷的SECS指令交互方案
l 良好的接口拓展性